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根据彭博社的最新调查,华为和中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)已经提交了自对准四重图形刻蚀(SAQP)技术专利,以使中芯国际实现 5 纳米半导体生产。这两家中国巨头一直在利用深紫外光(DUV)设备开发图案刻蚀技术,

使中芯国际能够生产符合美国出口规则的节点,同时保持之前宣布的 7 纳米节点的工艺精度提升。

在 7 纳米工艺中,中芯国际最有可能使用自对准双图案技术(SADP)和 DUV 工具,但为了提高 5 纳米节点的密度,需要将 SAQP 提高一倍。在半导体制造过程中,光刻工具需要多次转动来蚀刻硅晶片上的设计。

特别是随着更小的节点对密度的要求越来越高,使用 DUV 工具蚀刻 10 纳米以下的设计变得越来越具有挑战性。这就是 ASML 的极紫外光 (EUV) 工具发挥作用的地方。使用 EUV,光刻打印机的波长比 DUV 小 14 倍,仅为 13.5 nm,而 ArF 浸透 DUV 系统的波长为 193 nm。

这就意味着,如果没有 EUV,中芯国际就必须寻找 SAQP 等替代方案来提高节点密度,结果会增加复杂性,并可能降低产量。例如,英特尔曾试图在其首批 10 纳米节点中使用 SAQP,以减少对 EUV 的依赖,结果造成了一系列延误和并发症,最终将英特尔本身也推向了 EUV。

虽然华为和中芯国际可能会为 SAQP 开发出更高效的解决方案,但由于普通 DUV 无法跟上半导体节点密度的不断提高,因此使用 EUV 已迫在眉睫。鉴于 ASML 无法将其 EUV 设备运到中国,据称华为正在开发自己的 EUV 设备,但可能还需要几年时间才能展示出来。

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Replies, comments and Discussions:

  • 工作学习 / 科技自然 / 华为的光刻方法终于浮出水面,华为与合作伙伴新凯来技术有限公司,共同申请了一项先进半导体制造方法的专利。专利文件显示,他们正在研究自对准四重成像技术(Self-Aligned Quad Patterning,简称SAQP)。这项技术有望进一步减少对高端光刻技术的依赖,生产出高性能芯片 +1
    • 土法上马,买不到好的复印机,垫四张复印纸,我小时候玩过。 +8
    • 高光时刻,今还剩叹吗? +2
      • 2023 年,AMSL向中国芯片制造商出售了价值超过 60 亿欧元(65 亿美元)的设备,使中国成为阿斯麦的第二大市场,仅次于台湾,领先于韩国。
        • 你周末从超市买了40块钱的土豆,超过了邻居买一只龙虾的花销 +10
          • 你就知道没有龙虾混在土豆里面?且这土豆还是中国生产不了的洋土豆 +2
    • 四目相对
    • 一个人扛不动200斤,找4个人扛 +8
      • 没找对人。找对人,一个人就能扛200斤,100里山路不换肩 +1
        • 前几天刷到短视频,新郎说最佩服的就是十里山路不换肩。我琢磨这孩子情商高,抱不动新娘不怪新娘胖,主要是不敢和挑夫君媲美 +1
    • 根据彭博社的最新调查,华为和中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)已经提交了自对准四重图形刻蚀(SAQP)技术专利,以使中芯国际实现 5 纳米半导体生产。这两家中国巨头一直在利用深紫外光(DUV)设备开发图案刻蚀技术,

      使中芯国际能够生产符合美国出口规则的节点,同时保持之前宣布的 7 纳米节点的工艺精度提升。

      在 7 纳米工艺中,中芯国际最有可能使用自对准双图案技术(SADP)和 DUV 工具,但为了提高 5 纳米节点的密度,需要将 SAQP 提高一倍。在半导体制造过程中,光刻工具需要多次转动来蚀刻硅晶片上的设计。

      特别是随着更小的节点对密度的要求越来越高,使用 DUV 工具蚀刻 10 纳米以下的设计变得越来越具有挑战性。这就是 ASML 的极紫外光 (EUV) 工具发挥作用的地方。使用 EUV,光刻打印机的波长比 DUV 小 14 倍,仅为 13.5 nm,而 ArF 浸透 DUV 系统的波长为 193 nm。

      这就意味着,如果没有 EUV,中芯国际就必须寻找 SAQP 等替代方案来提高节点密度,结果会增加复杂性,并可能降低产量。例如,英特尔曾试图在其首批 10 纳米节点中使用 SAQP,以减少对 EUV 的依赖,结果造成了一系列延误和并发症,最终将英特尔本身也推向了 EUV。

      虽然华为和中芯国际可能会为 SAQP 开发出更高效的解决方案,但由于普通 DUV 无法跟上半导体节点密度的不断提高,因此使用 EUV 已迫在眉睫。鉴于 ASML 无法将其 EUV 设备运到中国,据称华为正在开发自己的 EUV 设备,但可能还需要几年时间才能展示出来。

      • 为何华为中芯如此高调,可能高不高调,新一波对中芯的制裁都在路上
    • 物理学不是神学,制造业需要的是市场和时间,市场中国足够大,时间终究会赶上来,美国封杀芯片等于是让出市场培养竞争对手 +3
      • 美国太傻了 +2
        • 不是美国傻,美国政客只要选票,那些商界大佬有几个支持? +1
      • 这话说的,中国几千年来都是世界上第一人口大国,最近才被印度超过。市场什么时候不够大了?但是一把好牌能打的稀烂的时候多的是,就看是不是在瞎折腾了。
        • 这么烂的牌逼得美国要经常丢出王炸才能对付的过去
          • “经常丢出王炸”,你这是夸美国王炸很多呀,那何乐而不为?另外我的意思是这几年你大大才开始胡折腾的,你一提经常,那就是早就已经在烂牌了。一方面精美,一方面乳化,真是高级隐形反贼啊 +1
            • 那当然,航母就又10条,可以同时打2个半战争
    • 国内有句名言怎么说来着“软件靠开源,硬件靠开禁”。 +1
    • 有望,有望,有望,就是吹牛屁。